文档介绍
| 基于声表面波(SAW)模式的陀螺仪具有很强的抗振动能力、高可靠性、低成本以及高灵敏度等特点，在运动制动、电子产品以及军用制导系统等方面显示出广阔的应用前景。本文就是将这种新型SH-SAW模式应用于角速率传感器研究。通过器件设计与测试以及传感器性能评价，初步研制出一种基于80MHz工作频率的新型角速率传感器。 |
文档标签:
声学
| 基于声表面波(SAW)模式的陀螺仪具有很强的抗振动能力、高可靠性、低成本以及高灵敏度等特点，在运动制动、电子产品以及军用制导系统等方面显示出广阔的应用前景。本文就是将这种新型SH-SAW模式应用于角速率传感器研究。通过器件设计与测试以及传感器性能评价，初步研制出一种基于80MHz工作频率的新型角速率传感器。 |
