微机电（Micro-Electro Mechanical Systems,MEMS)是一个快速成长的新科技领域。现在许多微机电结构，已经开始采用与半导体类似的制程。 微机电技术整合了机械、流体、光学，以及电子技术，微机电设备的尺寸大小大约是从0.1 microns 到 1毫米。微机电机构与传统机构相比，有两个主要的优势。首先，微机电机构可以大量生产，因此成本可以降低。其次，微机电机构可以直接与电路设备整合，因此 可以处理应用于更复杂的问题上。 FLOW-3D 在微流体的应用领域相当广泛。已经有多种特殊模型成功应用 FLOW-3D 得到相当精确的仿真结果。