文档介绍
| 拾片头是倒装芯片键合机的关键运动部件之一,需要实现X、Y、Z三个方向的往复快速移动。模态分析是研究拾片头振动特性的基础。利用Pro/E建立拾片头三维模型,保存为.x_t格式后导入ANSYS Workbench12进行计算模态分析,获取拾片头的前10阶固有频率和振型,并对计算结果进行了分析。结果表明:拾片头一阶固有频率为1 455 Hz,远高于拾片头的工作频率,不会产生共振现象,具有较好的动力学特性。 |
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