大气压微波等离子体具有设备成本低、无电极污染和适合于工业化生产等优点,有着非常广阔的应用前景。目前大气压等离子体射流装置主要从放电方式、电极结构和功率源三个方面进行设计和优化。本研究在电磁场分布理论的指导下用Ansoft HFSS高频电磁场模拟软件对短路活塞的位置和喷嘴的形状及位置进行了优化,设计出了一套大气压微波等离子体射流装置,并在此装置上进行含碳废气的处理实验研究。