最全的材料晶体生长工艺汇总_20150202_Yuhang_v1.0.pdf

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文集编号: 2015031207416

文档介绍

目前针对不同的晶体,通常都有多种生长工艺和方法可供选择,不同的晶体生长方法之间原理想通但是略有差别,可以分为气相法,溶液法,熔体法,外延法等,应用比较广泛和成熟的是熔体生长法。比较典型的熔体生长技术主要包括提拉法(CZ),泡生法(Ky),定向凝固法(DS),区熔法(FZ),坩埚下降法(VGF),热交换法(HEM)等。此外非熔体生长技术今年来也有很大的发展,例如气相法中发展比较快的物理气相传输法(PVT)是生长SiC等晶体的主要方法。

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高华华编辑

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