基于声流原理设计了一种H型压电超声流微泵,分析了各种因素对微泵出口平均速度的影响。采用直接流法计算得到了微泵体内的声流速度矢量图,实现了泵体结构的优化设计。进一步研究了超声流微泵出口平均速度与声流振子的振动位移、驱动频率以及流体动力粘度之间的关系,模拟了出口背压对出口平均速度的影响。分析结果表明,在流体动力粘度较小时,所设计的H型超声流微泵具有较好的泵送性能,通过改变驱动频率和驱动电压能方便地实现微流体的驱动控制。