文档介绍
本文对MEMS微麦克风的工作原理及相关理论进行研究，采用等效电路法建立理论模型，并应用PSpice进行仿真分析，通过模型的调整，达到市场要求的输出结果，最终输出最优的设计参数。同时在设计过程中对最关键的部件振膜进行了重点研究，采用Ansys软件进行有限元的仿真分析。
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通信技术
本文对MEMS微麦克风的工作原理及相关理论进行研究，采用等效电路法建立理论模型，并应用PSpice进行仿真分析，通过模型的调整，达到市场要求的输出结果，最终输出最优的设计参数。同时在设计过程中对最关键的部件振膜进行了重点研究，采用Ansys软件进行有限元的仿真分析。
