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超磁致伸缩直线电机的结构优化设计与控制研究.zip

随着科学技术的飞速发展,尤其在精密光学工程、半导体制造、超精密微细加工与测量技术、微型机电系统、航空航天技术等诸多尖端科技领域,越来越需要一种高性能的精密直线驱动技术。本课

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