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FEMAG超纯单晶硅区熔法解决方案.pdf

普通的单晶硅晶体生长方法或多或少都会引入少量杂质,但是区熔法是一种比较特殊的高纯度单晶生长技术。由于其本身也是一种提纯的方法,因此用区熔法来制备超纯单晶硅非常适合。

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