利用AspenPlus模拟分析了三氯氢硅合成洗涤塔，利用灵敏度工具分析了摩尔回流比对洗涤塔操作的影响，还利用优化分析工具对进料温度进行了分析。经对洗涤塔的模拟分析，建议实际运行采用适宜的较小回流比操作，可提高氯硅烷的回收率，还可降低再沸器的供热，甚至可取消它，有效避免硅粉和金属氯化物对其的严重磨蚀和腐蚀，同时还可减少冷凝器所需的冷量，降低多晶硅生产中的操作成本。