基于大变形Lagrange有限元理论、修正的JC本构关系和Cockroft-Latham切削断裂标准建立了超精密切削的三维有限元模型.采用此模型研究切削条件对超精密切削表面质量的影响.仿真结果表明:适当增大刀具后角可使工件表面的最大位移变化量有所下降,提高加工质量；刀尖半径对加工表面质量影响较大,刀尖半径越小,加工表面质量越好；切削深度对加工表面质量的影响不明显,为了保证加工效率,切削深度一般和刀尖半径相当:切削速度影响表面质量和切削效率,速度太大或太小都会影响加工表面质量,加工铝合金时切削速度为150