针对超高速旋转划片刀实际工作时存在的切削噪声问题，用INV 3018 G型振动与控制分析仪器对其切削晶圆的划片刀结构进行实验分析，利用改变划片刀工艺凹槽角度α的数值，得出不同角度对应转速的频谱图，并应用统计数据图表的方法，整理分析得到角度和频谱峰值的变化曲线图，确定工艺凹槽角度α对其结构的影响，得出对应的峰值最小即产生的噪声较小。结果表明：不同工艺凹槽角度α对高速旋转划片刀结构的设计有一定意义。