离子束加工(Ion Beam Figuring , IBF)去除函数对加工残差具有重要的影响, 而加工残差引起的表面散射则导致光学性能发生变化。为了减小加工残差对光学性能的影响, 利用基于CCOS 成形原理的离子束加工仿真程序对光学镜面进行修形, 分析不同去除函数宽度对散射损失(Ratio of Scattering Loss, RSL)指标的影响。通过研究可知, 随着去除函数宽度的减小, 加工残差对散射损失的影响越来越小。因此, 根据加工残差对RSL 指标的影响程度以及RSL 指标要求, 可以合理选择去