光学系统性能要求随着科技的发展不断提高，观测系统、激光系统、光刻投影 系统等技术的发展，对光学零件的需求激增，且技术要求较传统光学零件也有很大 提升，突出体现在对大口径、大相对口径非球面、轻质薄型、离轴非球面等光学零件的全波段(有效口径内波前的各种空间频率成分) 面形误差提出了严格要求。如何高效地加工出高精度光学零件是光学制造业必须解决的关键问题。离子束加工方法以离子溅射效应形成去除函数，利用 CCOS(Computer Controlling Optics Shaping) 成型原理对低频面形误差进